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扫描电子显微镜(FIB+EDX)

厂家:FEI(美国) 
型号:FEI-Scios 2 Hivac
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  • 主要参数

    1. 离子束分辨小于3nm@30KV;

    2. 电子束分辨率:workspace<1nm@15KV;

    3. 样品XY方向移动范围不低于100nm,Z方向不低于50nm;

    4. 可绕Z轴旋转任意角度倾斜角T范围不小于-4到70度,换样时间低于3.5分钟。

    用途及功能

    扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌,聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、刻蚀,能谱仪主要用于样品元素分析